Vous envisagez d'acquérir une sonde de température sur mesure ? OSENSA possède plus de 15 ans d'expérience dans la conception et la fabrication de sondes de température à fibre optique sur mesure pour les applications de gravure et de dépôt de semi-conducteurs. Contactez notre équipe pour en savoir plus.
Contrôle de la Température et des Processus des Mandrins Pour Semi-conducteurs
Les capteurs de température à fibre optique haute précision d'OSENSA sont spécialement conçus pour répondre aux exigences strictes des applications de contrôle des processus dans le secteur des semi-conducteurs.
OSENSA propose des solutions OEM sur mesure à réponse rapide pour la détection optique de température, avec ou sans contact, destinées aux applications de gravure diélectrique et conductrice. Les capteurs à fibre optique sont intégrés dans le mandrin électrostatique à plusieurs endroits afin d'assurer un contrôle optimal et une uniformité thermique maximale.
Applications Liées au Traitement des Plaquettes de Semi-conducteurs
De nombreuses applications liées au traitement des plaquettes de semi-conducteurs font appel à des capteurs de température à fibre optique pour assurer un contrôle précis des processus dans des environnements à haute fréquence radio (RF) et à plasma.
Dans une application de traitement classique, une plaquette de silicium est placée sur un mandrin électrostatique qui est rapidement chauffé puis refroidi dans un environnement plasma. Des capteurs de température à fibre optique sont intégrés à la base du mandrin électrostatique et offrent une grande précision ainsi qu'une réponse rapide pour un contrôle rigoureux du processus.
Chaque mandrin électrostatique est divisé en plusieurs zones, ce qui nécessite plusieurs capteurs de température à fibre optique afin d'optimiser l'uniformité de la température sur toute la surface de la plaquette. Les applications dans le domaine des semi-conducteurs utilisant ce type de configuration concernent généralement les procédés de gravure diélectrique et conductrice.
Procédés de Dépôt Chimique en Phase Vapeur Assisté par Plasma (EPCVD)
Dans les procédés de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (EPCVD), on utilise un réacteur à tête de douche pour disperser les gaz réactifs dans la chambre de traitement tout en appliquant une énergie RF intense.
Des capteurs de température à fibre optique sont utilisés pour réguler la température de la tête de douche et surveiller la température des parois latérales afin de réduire au minimum les dépôts sur les surfaces internes de la chambre.
Les capteurs de température à fibre optique d'OSENSA ont été spécialement conçus pour prendre en charge une grande variété de procédés de pointe dans le domaine des semi-conducteurs. Les capteurs à fibre optique d'OSENSA sont disponibles dans des configurations sans contact, où le matériau de détection est intégré à la base du mandrin électrostatique, tandis que la fibre optique est placée à distance.
Produits Liés aux Semi-conducteurs
Transmetteurs de Température
Solutions de détection de température par fibre optique offrant la plus grande précision, la plus grande fiabilité et le coût le plus bas.
Fiche TechniqueTransmetteurs de Temperature
IRM, Micro-ondes, Semi-conducteur, HIFU
FTX-300-LUX+
Nombre de Canaux:
3
Sortie Analogique:
3
Interface Numérique:
USB et RS-485 isolée
Transmetteurs de Temperature
IRM, Micro-ondes, Semi-conducteur, HIFU
2 canaux, USB, 4-20 mA, RS-485
Nombre de Canaux:
2
Sortie Analogique:
2
Interface Numérique:
USB et RS-485 isolée
Transmetteurs de Temperature
IRM, Micro-ondes, Semi-conducteur, HIFU
1 canal, USB, 4-20 mA, RS-485
Nombre de Canaux:
1
Sortie Analogique:
1
Interface Numérique:
USB et RS-485 isolée
Sondes de Température
Sondes de température à fibre optique résistantes aux rayonnements électromagnétiques, aux hautes tensions, aux radiofréquences et compatibles avec les champs magnétiques.
Sondes de Température à Fibre Optique
Semi-conducteur
Sondes de température à fibre optique OEM sur mesure et économiques.
